Tin tức

Thông số kĩ thuật

Chi tiết sản phẩm

Bước tiến mới trong công nghệ sản xuất bán dẫn tại Trung Quốc

Trong bối cảnh cuộc đua công nghệ toàn cầu đang tập trung vào các tiến trình chip tiên tiến nhất, các doanh nghiệp bán dẫn Trung Quốc đang âm thầm củng cố nền tảng ở những công đoạn sản xuất cốt lõi. Mới đây, Hwatsing Technology – đơn vị dẫn đầu trong lĩnh vực thiết bị đánh bóng cơ-hóa học (CMP) – đã công bố một thành tựu quan trọng: tích hợp hệ thống đo lường siêu chính xác trực tiếp vào quy trình làm phẳng wafer.

Công nghệ tích hợp đo lường thời gian thực

Wafer, những tấm đĩa silicon mỏng đóng vai trò là nền tảng cho mọi con chip, đòi hỏi độ phẳng gần như tuyệt đối để đảm bảo hiệu suất vi mạch. Trước đây, việc đo lường thường được thực hiện tách biệt, gây gián đoạn quy trình và tăng tỷ lệ sai sót. Hệ thống mới của Hwatsing cho phép:

• Đo lường trực tiếp trong suốt quá trình đánh bóng thay vì tách biệt các công đoạn.
• Cung cấp dữ liệu thời gian thực giúp hệ thống tự động điều chỉnh độ chính xác.
• Cải thiện đáng kể tính đồng nhất của bề mặt silicon, từ đó giảm tỷ lệ hao hụt vật liệu.

Đây là cột mốc quan trọng, đánh dấu lần đầu tiên một thiết bị đo lường wafer 6 inch tại Trung Quốc được đồng bộ hóa hoàn hảo với dây chuyền CMP, phục vụ trực tiếp cho các loại chip công suất, cảm biến MEMS và thiết bị điện tử tiêu dùng.

Bức tranh tự chủ thiết bị bán dẫn: Những mảng sáng tối

Dù đạt được những thành tựu đáng kể, lộ trình tự chủ công nghệ của Trung Quốc vẫn cho thấy sự phân hóa rõ rệt giữa các phân khúc sản xuất.

Sự trỗi dậy của thiết bị sản xuất nội địa

Theo số liệu từ hãng phân tích Bernstein, tỷ lệ tự chủ trong lĩnh vực thiết bị sản xuất wafer của Trung Quốc đang tăng trưởng ổn định. Đặc biệt, phân khúc máy đánh bóng wafer ghi nhận tỷ lệ tự cung tự cấp lên tới 39%, vượt xa mức trung bình 21% của toàn ngành thiết bị bán dẫn nội địa. Điều này cho thấy chiến lược tập trung vào các công đoạn sản xuất truyền thống đang mang lại hiệu quả thực tế.

Rào cản lớn tại khâu quang khắc

Ngược lại với sự khởi sắc ở mảng đánh bóng, khâu quang khắc (lithography) vẫn là "gót chân Achilles" của nền công nghiệp bán dẫn nước này. Do các lệnh hạn chế xuất khẩu từ ASML đối với hệ thống DUV và EUV tiên tiến, Trung Quốc hiện vẫn chưa có giải pháp thay thế nội địa khả thi.

Việc thiếu hụt công nghệ quang khắc khiến quốc gia này gặp khó khăn trong việc tiến sâu vào các tiến trình sản xuất chip dưới 7nm. Có thể khẳng định, dù những đột phá như hệ thống của Hwatsing là minh chứng cho năng lực kỹ thuật ngày càng cao, nhưng để đạt được sự độc lập hoàn toàn, ngành bán dẫn Trung Quốc vẫn cần một chặng đường dài vượt qua các rào cản về thiết bị quang khắc và kiểm tra đo lường cao cấp.